废shui来yuan：化学rong液与biao面材料进行化学反应，氢氟酸与er氧化硅反应并使qirong解，对玻libiao面进行yao蚀而将面ban厚du减薄，并利觤en夥岫圆ibiao面进行化学抛光，使qi光洁和平整程du达到工艺要求。

  该工序使用10%氢氟酸和10%yan酸作为蚀刻抛光液，蚀刻抛光工序会产生酸性废shui。

  (1)工艺筛选

  yi：han氟废shuiquchu氟化物de方法主要yi下几种：石灰法，石灰+液碱法，钙yan+氧化镁法等。

  石灰法：即采用生石粂i騭hu石灰乳液直接蚫u咏敕蟬hui进行反应，石灰中de钙离子与氟离讁ou煞?萤石)沉淀物，同shi石灰中de氢氧根离子将PH调gao，达到12，使氟化钙达到zuijia沉淀值，出shui氟离子可达到15mg/Lyi下。

  石灰+液碱法：就是采用石灰中de钙离子与废shui中de氟离子反应形成氟化钙沉淀，但是经常石粂i峁客du樱鵼i石灰+液碱法就是采用适量de石灰蚫u樱籬ou再用液碱提gao废shuiPH值，达到氟化钙沉淀zuijia条jian，得到zuijiade氟化物quchu率，减shao了因过量蚫u邮也鷇e污泥量。

  钙yan+氧化镁法：就是采用氟化钙与氧化镁结簒iandu觗e工艺，钙离子与氟离子形成氟化钙，再通过镁yan形成氢氧化物，与氟化钙共沉，PH可yi控制在7.0zuo右，可yi得到较低de氟化物(10mg/Lyi内)出shui。

  石灰法适合da量氟化物存在de废shui，可yi简单有效qie稳定diquchuda量氟离子，缺dian是污泥量da；石灰+液碱法可yi避免单独石灰法污泥量da(污泥中han有da量未rong解de氢氧化钙)de情况，达到zui紋anЧ鹍e同shi，减shao污泥中de氢氧化钙han量；钙yan+氧化镁法，可yi得到较低de氟化物出shui指标，yi及PH可yi调控在中性，但是不适合da量氟化物存在de情况。

  er：han氟废shui中de氨氮quchu方法有吹脱法、mo法、生物法、折dian加氯法等。

  吹脱法：通过调整废shuiPH值至碱性(PH:11yi上)，通过yi定de加热，zuihou使用风ji将废shui中de氨吹脱出来de方法，吹脱法襤ua阌迷诜蟬hui氨氮数千甚至数万毫克每升de情况下，quchu率可yi达到80～90%，或更gao，ling外吹脱法在加温吹脱de同shi会产生da量de硫酸an废液，造成er次污染。

  mo法：是当前比较新deyi种chu氨工艺，通过mo将废shui中de氨分离出来，制成硫酸氨rong液，再通过蒸fa工襷han蛩岚苯峋纬晒烫澹魑柿铣鍪邸５莄i工艺需要采用蒸气，neng耗较gaoua狈掷雖o污duwen题尚未彻底解决，出shui通量可nengwu法长效保证，因ci清洗频率zeng加，影响modezui终使用寿命；ling外硫酸氨出lu也存在yi定dewen题。

生物法：即采用生物硝化反硝化de方法，将废shui中de氮元素quchu。但是如果废shui中COD本来不gao，要quchu如cigaode氨氮，必须添加营yang物及碱du，zeng加混合液回流，zeng加pu气量等；废shui处理系统变得复杂，投zi成本zeng加，youyu需要添加多种营yang物质，控制操作也很复杂，操作ren员不易常wo，运营成本很gao；本身废shuishui质存在yi定debodong，这对生化系统稳定运行存在挑zhan；生物法quchu氨氮襤ua悴籲eng超过500mg/L，但是同类工程排放废shui连续取yang中ce到氨氮有1000～2000mg/Lde情况，yi旦超gao浓du氨氮废shui进入生化系统，又mei有neng及shi调整运行瞱en岫哉錾低吃斐苫倜鹦詃e伤害，zhong新恢复系统又需要很长shi间。

  折dian加氯法：在氨氮废shui中蚫u肼萪eyan究中fa现，当蚫u攘看锏铰扔氚眃e摩尔比值1∶1shi，化合余氯即zeng加，当摩尔比达到1.5∶1shi，（质量比7.6∶1），余氯下降到zui低dian，ci即“折dian”"。在折dian处，基本上quan部氧化性de氯du被还原，quan部氨du被氧化，进yi步加氯就du产生自you余氯。

an例展示